牛尾电机正在开发的曝光用LED光源,在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕张Messe会展中心)上参考展出。有望取代之前使用的汞(Hg)灯。该公司表示,准备开拓能发挥LED光源特点的应用。
据牛尾电机介绍,展示的曝光用LED光源,其本身的开发已经完成,目前正在探索用户的使用方法。该LED光源可输出相当于汞灯g线(波长为436mm)、h线(波长为405mm)和i线(波长为365mm)波长的光。目前的光强度相当于输出功率750W的汞灯。该LED光源的特点是,可改变汞灯中固定的g线、h线和i线的光强度比。另外,虽然与之前使用的汞灯相比初期成本较高,但由于使用寿命长,所以可降低运行成本(Running Cost)。此外,其发热较低,可实现节能省空间化。牛尾电机表示,将开拓能发挥这些特点的应用。